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洛陽(yáng)傳順機(jī)械設(shè)備有限公司
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超聲波氣靜壓電主軸
發(fā)明專利號(hào)201911122869.2;氣靜壓電主軸,旋轉(zhuǎn)精度0.1um;額定轉(zhuǎn)速8萬(wàn)轉(zhuǎn)/分,額定功率1.5KW;超聲波頻率范圍2~5萬(wàn)Hz可調(diào);超聲波振幅范圍3~6um可調(diào)。(公示階段)
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碳化硅晶圓劃片超聲波主軸
實(shí)用新型專利號(hào)201921979720.1,發(fā)明專利號(hào)201911122869.2(公示);超精密氣靜壓主軸,主軸額定轉(zhuǎn)速6萬(wàn)rpm,旋轉(zhuǎn)精度0.1um,永磁同步電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速;有超聲和無(wú)超聲雙工作方式,超聲波頻率2~5萬(wàn)Hz 可調(diào),振幅1~3um可調(diào);高速、高效,一軸兩用。
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碳化硅晶圓減薄超聲波主軸
實(shí)用新型專利號(hào)202022644251.7,發(fā)明專利號(hào)201911122869.2(公示);超精密氣靜壓主軸,主軸旋轉(zhuǎn)精度0.1um,永磁同步電機(jī),高精度編碼器,無(wú)級(jí)調(diào)速;有超聲和無(wú)超聲雙工作方式,超聲波頻率2~5萬(wàn)Hz 可調(diào),振幅1~3um可調(diào);高速、高效,一軸兩用。
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氣靜壓(氣浮)導(dǎo)軌
發(fā)明專利號(hào)201510300840.4;超高精度,直線度可達(dá)0.3um/m;無(wú)摩擦,不磨損,長(zhǎng)壽命;運(yùn)行高速、動(dòng)態(tài)平穩(wěn);低耗氣量,低碳綠色環(huán)保。
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超精密內(nèi)外圓磨床
發(fā)明專利號(hào)201110213261.8;旋轉(zhuǎn)精度0.1um超聲波氣靜壓電主軸;直線度0.3um氣靜壓導(dǎo)軌,直線電機(jī),精密光柵尺,高精度數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制,天然花崗巖床身,空氣彈簧減震。
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超精密光學(xué)曲線磨床
發(fā)明專利2項(xiàng),實(shí)用新型專利2項(xiàng);氣靜壓電主軸,旋轉(zhuǎn)精度0.1um;氣靜壓導(dǎo)軌,直線度0.3um/m;直線電機(jī),光柵尺,數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制;光學(xué)成像,花崗巖床身,空氣彈簧減震。
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洛陽(yáng)傳順機(jī)械設(shè)備有限公司注冊(cè)成立于2008年9月,是一家股份制高新技術(shù)企業(yè)。公司專業(yè)從事超精密氣靜壓主軸以及裝備的研發(fā)制造銷售。 公司先后被認(rèn)定為:河南省科技型中小企業(yè);洛陽(yáng)市納米加工裝備技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心;河南省高新技術(shù)企業(yè);通過(guò)ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證。 大事記 1、2008年9月1日洛陽(yáng)傳順機(jī)械設(shè)備有限公司注冊(cè)成立。 2、2009年推出“高精度劃片機(jī)氣靜壓電主軸”,獲得多項(xiàng)實(shí)用新型專利。 3、2010年推出“超精密氣靜壓內(nèi)外圓磨床”,獲得國(guó)家發(fā)明專利。 4、2013年推出“超精密氣浮導(dǎo)軌”,獲得國(guó)家發(fā)明專利。 5、2018年成功制造出“光刻機(jī)氣浮導(dǎo)軌”,在客戶光刻機(jī)上使用 ...

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